三工位真空燒結(jié)爐
適用工藝：
三工位真空燒結(jié)爐主要應(yīng)用于電力半導(dǎo)體器件,燒結(jié),焊接等工藝
設(shè)備參數(shù)
加熱容器口徑：≤Φ350mm，不銹鋼管/石英管
工作方式：共用一套加熱體，A、B、C管交替工作
工作溫度：（加熱容器）高溫不銹鋼管0-1000℃/石英管0-1300℃
恒溫區(qū)：300-1000mm，±2℃ /24h
真空極限：5Χ10-4Pa /4Χ10-2Pa
真空系統(tǒng)：機(jī)械泵/機(jī)械泵+K300擴(kuò)散泵
閥門(mén)：Φ300氣動(dòng)擋板閥為主閥和進(jìn)口電磁閥
額定功率：47KW
真空計(jì)：電阻式壓力傳感器/復(fù)合式數(shù)字真空計(jì)
充氣種類(lèi)：N2、Ar、H2
工作方式：自動(dòng)或手動(dòng)自由轉(zhuǎn)換
正壓、負(fù)壓均采用數(shù)字顯示表/電阻式壓力傳感器
三工位交替工作，行走X、Y方向
人機(jī)界面：觸摸屏/工控機(jī)
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